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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5375853 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2013年12月25日
特許 5374748 絶縁膜の形成方法、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体および処理システム 2013年12月25日
特許 5379732 基板処理装置 2013年12月25日
特許 5378706 プラズマ処理装置及びそれに用いられる処理ガス供給装置 2013年12月25日
特許 5374961 塗布、現像装置、及び塗布、現像装置の搬送アーム洗浄方法、並びに記憶媒体 2013年12月25日
特許 5374079 検査用接触構造体 2013年12月25日
特許 5375871 液処理装置、液処理方法、コンピュータプログラムを格納した記憶媒体 2013年12月25日
特許 5378447 塗布、現像装置 2013年12月25日
特許 5374039 基板処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 2013年12月25日
特許 5374749 絶縁膜の形成方法、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体および処理システム 2013年12月25日
特許 5376816 マイクロ波導入機構、マイクロ波プラズマ源およびマイクロ波プラズマ処理装置 2013年12月25日
特許 5378586 プライミング処理方法及びプライミング処理装置 2013年12月25日
特許 5379589 真空吸着パッド、搬送アーム及び基板搬送装置 2013年12月25日
特許 5379773 めっき処理装置及びめっき処理方法並びにめっき処理プログラムを記録した記録媒体 2013年12月25日
特許 5375852 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2013年12月25日

794 件中 1-15 件を表示

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5375853 5374748 5379732 5378706 5374961 5374079 5375871 5378447 5374039 5374749 5376816 5378586 5379589 5379773 5375852

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