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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-228708 プラズマ成膜装置および基板載置台 2017年12月28日
特開 2017-228726 ガス処理装置、ガス処理方法及び記憶媒体 2017年12月28日
特開 2017-228754 静電容量測定用の測定器、及び、測定器を用いて処理システムにおける搬送位置データを較正する方法 2017年12月28日
特開 2017-228789 検査システム 2017年12月28日
特開 2017-228968 フィルタを設計する方法 2017年12月28日
特開 2017-222928 表面処理による選択的堆積 2017年12月21日
特開 2017-224653 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2017年12月21日
特開 2017-224657 基板搬送装置および基板搬送方法 2017年12月21日
特開 2017-224658 基板搬送装置および基板搬送方法 2017年12月21日
特開 2017-224661 基板搬送装置および基板搬送方法 2017年12月21日
特開 2017-224669 窒化珪素膜の処理方法および窒化珪素膜の形成方法 2017年12月21日
特開 2017-224673 基板処理方法及び硼素添加珪素の除去方法 2017年12月21日
特開 2017-224684 半導体装置の製造方法、熱処理装置及び記憶媒体。 2017年12月21日
特開 2017-224697 ガス輸送管及びプラズマ処理装置 2017年12月21日
特開 2017-224789 成膜方法およびTFTの製造方法 2017年12月21日

593 件中 16-30 件を表示

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2017-228708 2017-228726 2017-228754 2017-228789 2017-228968 2017-222928 2017-224653 2017-224657 2017-224658 2017-224661 2017-224669 2017-224673 2017-224684 2017-224697 2017-224789

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