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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-224792 基板処理装置、メンテナンス用治具、基板処理装置のメンテナンス方法及び記憶媒体 2017年12月21日
特開 2017-224797 銅層をエッチングする方法 2017年12月21日
特開 2017-217645 検査装置、検査方法及び機能液吐出装置 2017年12月14日
特開 2017-217841 印刷装置および印刷方法 2017年12月14日
特開 2017-217842 印刷装置 2017年12月14日
特開 2017-219470 温度計測システム、基板処理装置及び温度計測方法 2017年12月14日
特開 2017-219617 パターン形成方法 2017年12月14日
特開 2017-220408 マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ処理方法 2017年12月14日
特開 2017-220489 液処理方法、液処理装置及び記憶媒体 2017年12月14日
特開 2017-220547 処理液供給装置、機器ユニット、処理液供給方法及び記憶媒体 2017年12月14日
特開 2017-220571 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2017年12月14日
特開 2017-220618 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体 2017年12月14日
特開 2017-220649 エッチング処理方法 2017年12月14日
特開 2017-216135 整合器及びプラズマ処理装置 2017年12月 7日
特開 2017-216283 磁場印加装置および半導体装置の製造装置 2017年12月 7日

593 件中 31-45 件を表示

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2017-224792 2017-224797 2017-217645 2017-217841 2017-217842 2017-219470 2017-219617 2017-220408 2017-220489 2017-220547 2017-220571 2017-220618 2017-220649 2017-216135 2017-216283

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