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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

(ランキング更新日:2024年12月12日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-110216 プラズマ処理装置 2018年 7月12日
特開 2018-110219 真空チャンバおよび真空チャンバの扉の施錠方法 2018年 7月12日
特開 2018-110238 基板処理装置及び基板処理装置の基板載置部の雰囲気制御方法 2018年 7月12日
特開 2018-103270 多層多孔質板及び多層多孔質板の製造方法 2018年 7月 5日
特開 2018-104773 パージ方法 2018年 7月 5日
特開 2018-106173 反射防止機能を有する部材の製造方法 2018年 7月 5日
特開 2018-107174 成膜装置および成膜方法 2018年 7月 5日
特開 2018-107175 熱処理装置、熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2018年 7月 5日
特開 2018-107182 基板処理装置および基板処理方法、ならびに基板処理システム 2018年 7月 5日
特開 2018-107191 エッチング方法 2018年 7月 5日
特開 2018-107192 基板処理装置及び基板処理方法 2018年 7月 5日
特開 2018-107202 プラズマ処理装置及びプラズマ制御方法 2018年 7月 5日
特開 2018-107255 成膜装置、成膜方法及び断熱部材 2018年 7月 5日
特開 2018-107264 消耗判定方法及びプラズマ処理装置 2018年 7月 5日
特開 2018-107265 計測方法、除電方法及びプラズマ処理装置 2018年 7月 5日

591 件中 301-315 件を表示

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2018-110216 2018-110219 2018-110238 2018-103270 2018-104773 2018-106173 2018-107174 2018-107175 2018-107182 2018-107191 2018-107192 2018-107202 2018-107255 2018-107264 2018-107265

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