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エフ・イ−・アイ・カンパニー

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  2014年 特許取得件数ランキング    第1392位 18件 上昇2013年:第2127位 10件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5645335 FIBパターニングを改良するためのパターン変更方式 2014年12月24日
特許 5635645 ビームシステムのビームカラムを傾動する装置並びにビームシステム 2014年12月 3日
特許 5628882 S/TEMのサンプルを作成する方法およびサンプル構造 2014年11月19日
特許 5611586 小型の走査型電子顕微鏡 2014年10月22日
特許 5599958 複数の検出器を備える切り替え可能な顕微鏡装置 2014年10月 1日
特許 5600371 荷電粒子ビーム処理のための保護層のスパッタリング・コーティング 2014年10月 1日
特許 5591550 高選択性、低損傷の電子ビーム・デリニエーション・エッチング 2014年 9月17日
特許 5586118 荷電粒子ビームシステムの操作方法 2014年 9月10日
特許 5571355 ガス増幅を使用した走査透過電子顕微鏡 2014年 8月13日
特許 5523651 局部的プラズマ処理 2014年 6月18日
特許 5498655 クラスタ源を使用する荷電粒子ビーム処理 2014年 5月21日
特許 5492364 3次元基準マーク 2014年 5月14日
特許 5485209 ビームシステムのビームカラムを傾動する方法 2014年 5月 7日
特許 5441242 ビーム加工のための改善されたビーム位置決め 2014年 3月12日
特許 5432220 二重ビーム装置 2014年 3月 5日

18 件中 1-15 件を表示

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5645335 5635645 5628882 5611586 5599958 5600371 5591550 5586118 5571355 5523651 5498655 5492364 5485209 5441242 5432220

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