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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2015年 出願公開件数ランキング    第339位 112件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第225位 132件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5732392 放射源およびリソグラフィ装置 2015年 6月10日
特許 5732393 リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 2015年 6月10日
特許 5732448 冷却配置を有するディテクタモジュール、および該ディテクタモジュールを含むリソグラフィ装置 2015年 6月10日
特許 5732450 電気コネクタ及びリソグラフィ装置 2015年 6月10日
特許 5732525 コレクタミラーアセンブリおよび極端紫外線放射の生成方法 2015年 6月10日
特許 5726794 平面モータおよび平面モータを備えるリソグラフィ装置 2015年 6月 3日
特許 5727056 インプリントリソグラフィ装置及び方法 2015年 6月 3日
特許 5727590 スペクトル純度フィルタ 2015年 6月 3日
特許 5723433 リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を操作する方法 2015年 5月27日
特許 5722074 リソグラフィ装置および方法 2015年 5月20日
特許 5722445 インプリントリソグラフィのための検査方法及びそのための装置 2015年 5月20日
特許 5715994 リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置内のコンポーネントの冷却方法 2015年 5月13日
特許 5717761 EUV放射源およびリソグラフィ装置 2015年 5月13日
特許 5717765 スペクトル純度フィルタ 2015年 5月13日
特許 5718296 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2015年 5月13日

134 件中 61-75 件を表示

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5732392 5732393 5732448 5732450 5732525 5726794 5727056 5727590 5723433 5722074 5722445 5715994 5717761 5717765 5718296

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