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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5732392 | 放射源およびリソグラフィ装置 | 2015年 6月10日 | |
特許 5732393 | リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 | 2015年 6月10日 | |
特許 5732448 | 冷却配置を有するディテクタモジュール、および該ディテクタモジュールを含むリソグラフィ装置 | 2015年 6月10日 | |
特許 5732450 | 電気コネクタ及びリソグラフィ装置 | 2015年 6月10日 | |
特許 5732525 | コレクタミラーアセンブリおよび極端紫外線放射の生成方法 | 2015年 6月10日 | |
特許 5726794 | 平面モータおよび平面モータを備えるリソグラフィ装置 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5727056 | インプリントリソグラフィ装置及び方法 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5727590 | スペクトル純度フィルタ | 2015年 6月 3日 | |
特許 5723433 | リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置を操作する方法 | 2015年 5月27日 | |
特許 5722074 | リソグラフィ装置および方法 | 2015年 5月20日 | |
特許 5722445 | インプリントリソグラフィのための検査方法及びそのための装置 | 2015年 5月20日 | |
特許 5715994 | リソグラフィ装置及びリソグラフィ装置内のコンポーネントの冷却方法 | 2015年 5月13日 | |
特許 5717761 | EUV放射源およびリソグラフィ装置 | 2015年 5月13日 | |
特許 5717765 | スペクトル純度フィルタ | 2015年 5月13日 | |
特許 5718296 | 流体ハンドリング構造、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2015年 5月13日 |
134 件中 61-75 件を表示
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5732392 5732393 5732448 5732450 5732525 5726794 5727056 5727590 5723433 5722074 5722445 5715994 5717761 5717765 5718296
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
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