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　■　2015年出願公開件数ランキング　　　第339位　112件（2014年：　0件）

　■　2015年特許取得件数ランキング　　　第225位　132件（2014年：　0件）

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5809637	リソグラフィ装置およびデバイス製造方法	2015年11月11日
特許 5809364	露光装置	2015年11月10日
特許 5802740	リソグラフィで使用される自己組織化可能な重合体の秩序化された層を提供する方法	2015年11月 4日
特許 5801831	先進リソグラフィのためのレンズ加熱感知ソースマスク最適化	2015年10月28日
特許 5793222	リソグラフィ装置用の光学素子マウント	2015年10月14日
特許 5793236	リソグラフィにおける放射ビームスポットの位置の測定	2015年10月14日
特許 5793248	リソグラフィシステム	2015年10月14日
特許 5794433	極紫外光源のためのビーム搬送システム	2015年10月14日
特許 5795454	リソグラフィ装置	2015年10月14日
特許 5795704	放射源	2015年10月14日
特許 5795741	基板ホルダ、リソグラフィ装置、及び基板ホルダの製造方法	2015年10月14日
特許 5789275	３Ｄレジストプロファイルのシミュレーション用のリソグラフィモデル	2015年10月 7日
特許 5785419	光学要素を冷却する方法、リソグラフィ装置、およびデバイスを製造する方法	2015年 9月30日
特許 5785999	インプリントリソグラフィ装置および方法	2015年 9月30日
特許 5782495	リソグラフィ装置およびデバイス製造方法	2015年 9月24日

134 件中 16-30 件を表示

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5809637 5809364 5802740 5801831 5793222 5793236 5793248 5794433 5795454 5795704 5795741 5789275 5785419 5785999 5782495

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