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エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．
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■ 2015年 特許取得件数ランキング 第225位 132件
（2014年： 0件）
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エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5809637 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2015年11月11日 | |
| 特許 5809364 | 露光装置 | 2015年11月10日 | |
| 特許 5802740 | リソグラフィで使用される自己組織化可能な重合体の秩序化された層を提供する方法 | 2015年11月 4日 | |
| 特許 5801831 | 先進リソグラフィのためのレンズ加熱感知ソースマスク最適化 | 2015年10月28日 | |
| 特許 5793222 | リソグラフィ装置用の光学素子マウント | 2015年10月14日 | |
| 特許 5793236 | リソグラフィにおける放射ビームスポットの位置の測定 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5793248 | リソグラフィシステム | 2015年10月14日 | |
| 特許 5794433 | 極紫外光源のためのビーム搬送システム | 2015年10月14日 | |
| 特許 5795454 | リソグラフィ装置 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5795704 | 放射源 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5795741 | 基板ホルダ、リソグラフィ装置、及び基板ホルダの製造方法 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5789275 | ３Ｄレジストプロファイルのシミュレーション用のリソグラフィモデル | 2015年10月 7日 | |
| 特許 5785419 | 光学要素を冷却する方法、リソグラフィ装置、およびデバイスを製造する方法 | 2015年 9月30日 | |
| 特許 5785999 | インプリントリソグラフィ装置および方法 | 2015年 9月30日 | |
| 特許 5782495 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2015年 9月24日 |
134 件中 16-30 件を表示
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5809637 5809364 5802740 5801831 5793222 5793236 5793248 5794433 5795454 5795704 5795741 5789275 5785419 5785999 5782495
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