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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2018年 出願公開件数ランキング    第314位 124件 上昇2017年:第379位 113件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第281位 102件 上昇2017年:第305位 95件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6444353 リトグラフ装置 2018年12月26日
特許 6444454 リソグラフィ装置 2018年12月26日
特許 6444674 レーザ作動光源 2018年12月26日
特許 6445148 リソグラフィツール用のコンポーネント、リソグラフィ装置、検査ツール、及びデバイス製造の方法 2018年12月26日
特許 6446133 アクチュエータ、位置決め装置、リソグラフィ装置、およびアクチュエータの製造方法 2018年12月26日
特許 6438412 リソグラフィ装置のための投影システム、ミラーおよび放射源 2018年12月12日
特許 6433504 ターゲット構成の最適化及び関連するターゲット 2018年12月 5日
特許 6434515 放射システム及びリソグラフィ装置 2018年12月 5日
特許 6434582 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2018年12月 5日
特許 6435338 放射源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、センサシステム及びセンシング方法 2018年12月 5日
特許 6429989 リソグラフィ装置及び方法 2018年11月28日
特許 6425567 流体ハンドリング構造 2018年11月21日
特許 6426204 対象物位置決めシステム、制御システム、リソグラフィ装置、対象物位置決め方法およびデバイス製造方法 2018年11月21日
特許 6423430 レーザ生成プラズマEUV光源におけるソース材料送出の装置 2018年11月14日
特許 6417418 電子入射器、自由電子レーザ、リソグラフィシステム、電子ビーム生成方法、及び放射生成方法 2018年11月 7日

105 件中 1-15 件を表示

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6444353 6444454 6444674 6445148 6446133 6438412 6433504 6434515 6434582 6435338 6429989 6425567 6426204 6423430 6417418

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