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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7195411	放射システム	2022年12月23日
特許 7193459	極端紫外線源（ＥＵＶ源）	2022年12月20日
特許 7193499	リソグラフィ装置およびデバイス製造方法	2022年12月20日
特許 7191954	パターニングプロセスパラメータを決定する方法および装置	2022年12月19日
特許 7191108	基板グリッドを決定するための測定装置及び方法	2022年12月16日
特許 7186183	ペリクル及びペリクルアセンブリ	2022年12月 8日
特許 7186230	装置の構成要素から汚染粒子を除去する装置および方法	2022年12月 8日
特許 7186258	基板ホルダ及び基板ホルダ製造方法	2022年12月 8日
特許 7181305	信号電子検出性能を向上させたマルチビーム検査装置	2022年11月30日
特許 7181317	電子ビーム誘起電流に基づくウェーハ検査	2022年11月30日
特許 7179839	荷電粒子のためのマルチセル検出器	2022年11月29日
特許 7179979	メトトロジ方法、パターニングデバイス、装置及びコンピュータプログラム	2022年11月29日
特許 7177183	装置の動作を説明するパラメータ間の重要な関係の決定	2022年11月22日
特許 7175305	フォトリソグラフィシステムの圧力容器内のシールを保護するための方法及び装置	2022年11月18日
特許 7174625	ＥＵＶリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法、メンブレンアセンブリ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法	2022年11月17日

126 件中 1-15 件を表示

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7195411 7193459 7193499 7191954 7191108 7186183 7186230 7186258 7181305 7181317 7179839 7179979 7177183 7175305 7174625

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