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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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 ■ 2020年 出願公開件数ランキング    第258位 138件 (下降2019年:第249位 151件)

 ■ 2020年 特許取得件数ランキング    第236位 122件 (上昇2019年:第255位 108件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6800246 ステージシステム、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2020年12月16日
特許 6799645 レーザ生成プラズマ極端紫外線光源のターゲット 2020年12月16日
特許 6798987 エンコーダ、位置測定システム、及びリソグラフィ装置 2020年12月 9日
特許 6798017 基板にわたってパラメータ変動を修正する処理装置及び方法 2020年12月 9日
特許 6793840 メトロロジ方法、装置、及びコンピュータプログラム 2020年12月 2日
特許 6792572 リソグラフィ方法およびリソグラフィ装置 2020年11月25日
特許 6790172 相互レシピ整合性に基づくレシピ選択 2020年11月25日
特許 6788678 リソグラフィ装置、基板をアンロードする方法、及び基板をロードする方法 2020年11月25日
特許 6786588 光学要素を洗浄するための制御された流体流 2020年11月18日
特許 6785993 プロセスフィンガープリントのセットを維持する方法 2020年11月18日
特許 6784757 リソグラフィ装置用のペリクルを製造する方法、リソグラフィ装置用のペリクル、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、ペリクルを処理するための装置、及びペリクルを処理する方法 2020年11月11日
特許 6782769 2次元又は3次元の形状の階層的表現 2020年11月11日
特許 6782775 繰り返し率依存の性能変数のオンライン較正 2020年11月11日
特許 6784737 レーザ生成プラズマEUV光源におけるソース材料送出の装置及び方法 2020年11月11日
特許 6782784 パターニングプロセスパラメータを決定する方法及び装置 2020年11月11日

126 件中 1-15 件を表示

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6800246 6799645 6798987 6798017 6793840 6792572 6790172 6788678 6786588 6785993 6784757 6782769 6782775 6784737 6782784

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