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エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第339位 112件
（
2014年： 0件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第225位 132件
（2014年： 0件）
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エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ．の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5784576 | リソグラフィ装置および方法 | 2015年 9月24日 | |
| 特許 5778093 | 基板テーブルアセンブリ、液浸リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2015年 9月16日 | |
| 特許 5774598 | アライメント及びインプリントリソグラフィ | 2015年 9月 9日 | |
| 特許 5775148 | 基板をロードするための方法およびリソグラフィ装置 | 2015年 9月 9日 | |
| 特許 5775530 | 照明システム、リソグラフィ方法、コンピュータプログラム、デバイス製造方法、およびリソグラフィ装置 | 2015年 9月 9日 | |
| 特許 5763255 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2015年 8月12日 | |
| 特許 5757930 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2015年 8月 5日 | |
| 特許 5758153 | 放射源装置、リソグラフィ装置、放射発生および送出方法、およびデバイス製造方法 | 2015年 8月 5日 | |
| 特許 5759023 | ＥＵＶ光源のための駆動レーザ送出システム | 2015年 8月 5日 | |
| 特許 5756480 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2015年 7月29日 | |
| 特許 5756739 | リソグラフィプロセスウィンドウをシミュレートするための方法及びシステム | 2015年 7月29日 | |
| 特許 5750417 | モデルベースのスキャナ調整方法 | 2015年 7月22日 | |
| 特許 5752786 | 多層ミラー及びそのロバスト性を改善する方法 | 2015年 7月22日 | |
| 特許 5753292 | インプリント・リソグラフィ | 2015年 7月22日 | |
| 特許 5753320 | リソグラフィ装置 | 2015年 7月22日 |
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5784576 5778093 5774598 5775148 5775530 5763255 5757930 5758153 5759023 5756480 5756739 5750417 5752786 5753292 5753320
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