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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第773位 33件
(2023年:第527位 59件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第552位 46件
(2023年:第756位 32件)
(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7507843 | 物品搬送システム及び物品搬送システムの運営方法 | 2024年 6月28日 | |
特許 7506724 | 基板処理装置及び濃度測定装置 | 2024年 6月26日 | |
特許 7506728 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 6月26日 | |
特許 7504182 | テスト基板を含む基板処理装置及び距離測定センサーを用いたオートティーチング方法 | 2024年 6月21日 | |
特許 7503118 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 6月19日 | |
特許 7499836 | 基板処理装置 | 2024年 6月14日 | |
特許 7493574 | 液供給ユニット及びこれを含む基板処理装置 | 2024年 5月31日 | |
特許 7492573 | 薬液供給装置及び方法、そして、基板処理装置 | 2024年 5月29日 | |
特許 7480253 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 5月 9日 | |
特許 7476286 | プロセスガス供給ユニットおよびそれを含む基板処理装置 | 2024年 4月30日 | |
特許 7470153 | 基板昇降装置および基板処理装置 | 2024年 4月17日 | |
特許 7462720 | 基板処理装置および方法 | 2024年 4月 5日 | |
特許 7459222 | 基板処理装置、高調波制御ユニット及び高調波制御方法 | 2024年 4月 1日 | |
特許 7457765 | 基板テスト装置およびそれを用いるデチャック力の測定方法 | 2024年 3月28日 | |
特許 7454027 | 基板処理装置およびそれを用いた基板処理方法 | 2024年 3月21日 |
46 件中 16-30 件を表示
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7507843 7506724 7506728 7504182 7503118 7499836 7493574 7492573 7480253 7476286 7470153 7462720 7459222 7457765 7454027
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