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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第773位 33件 (2023年:第527位 59件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第552位 46件 (2023年:第756位 32件)
(ランキング更新日:2025年1月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7446367 | 流動抵抗発生ユニットおよびそれを含む基板処理装置 | 2024年 3月 8日 | |
特許 7446388 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 3月 8日 | |
特許 7444960 | 外乱観測器を含む搬送システムおよびその制御方法 | 2024年 3月 6日 | |
特許 7442612 | 把持装置およびそれを含む自律走行ロボット | 2024年 3月 4日 | |
特許 7431920 | 液供給ユニット、基板処理装置及びボトル交替方法 | 2024年 2月15日 | |
特許 7431928 | 薬液検査装置および、それを含む基板処理装置 | 2024年 2月15日 | |
特許 7431287 | 薬液供給装置 | 2024年 2月14日 | |
特許 7430489 | 静電チャック、静電チャック装置 | 2024年 2月13日 | |
特許 7428754 | 基板処理装置および方法 | 2024年 2月 6日 | |
特許 7428780 | 基板処理装置及び方法 | 2024年 2月 6日 | |
特許 7425175 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 1月30日 | |
特許 7425176 | マスク処理装置及び基板処理装置 | 2024年 1月30日 | |
特許 7421593 | 基板処理装置 | 2024年 1月24日 | |
特許 7419304 | バックノズルユニット、及びバックノズルユニットを含む基板処理装置 | 2024年 1月22日 | |
特許 7418535 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2024年 1月19日 |
46 件中 31-45 件を表示
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7446367 7446388 7444960 7442612 7431920 7431928 7431287 7430489 7428754 7428780 7425175 7425176 7421593 7419304 7418535
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