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セメス株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第552位 46件 上昇2023年:第756位 32件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7446367 流動抵抗発生ユニットおよびそれを含む基板処理装置 2024年 3月 8日
特許 7446388 基板処理装置及び基板処理方法 2024年 3月 8日
特許 7444960 外乱観測器を含む搬送システムおよびその制御方法 2024年 3月 6日
特許 7442612 把持装置およびそれを含む自律走行ロボット 2024年 3月 4日
特許 7431920 液供給ユニット、基板処理装置及びボトル交替方法 2024年 2月15日
特許 7431928 薬液検査装置および、それを含む基板処理装置 2024年 2月15日
特許 7431287 薬液供給装置 2024年 2月14日
特許 7430489 静電チャック、静電チャック装置 2024年 2月13日
特許 7428754 基板処理装置および方法 2024年 2月 6日
特許 7428780 基板処理装置及び方法 2024年 2月 6日
特許 7425175 基板処理装置及び基板処理方法 2024年 1月30日
特許 7425176 マスク処理装置及び基板処理装置 2024年 1月30日
特許 7421593 基板処理装置 2024年 1月24日
特許 7419304 バックノズルユニット、及びバックノズルユニットを含む基板処理装置 2024年 1月22日
特許 7418535 基板処理装置及び基板処理方法 2024年 1月19日

46 件中 31-45 件を表示

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7446367 7446388 7444960 7442612 7431920 7431928 7431287 7430489 7428754 7428780 7425175 7425176 7421593 7419304 7418535

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