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株式会社荏原製作所

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  2015年 出願公開件数ランキング    第206位 233件 上昇2014年:第223位 204件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第329位 83件 上昇2014年:第333位 116件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-134393 キャリブレーション装置、及び基板処理装置 2015年 7月27日
特開 2015-134963 めっき方法およびめっき装置 2015年 7月27日
特開 2015-131351 圧力制御装置および該圧力制御装置を備えた研磨装置 2015年 7月23日
特開 2015-131360 研磨装置 2015年 7月23日
特開 2015-131979 めっき装置およびめっき方法 2015年 7月23日
特開 2015-132173 横軸ポンプ 2015年 7月23日
特開 2015-132542 レーザ測長器の反射鏡の支持構造 2015年 7月23日
特開 2015-132623 荷電粒子ビーム検査方法及び装置 2015年 7月23日
特開 2015-133448 回転保持装置及び基板洗浄装置 2015年 7月23日
特開 2015-133449 基板処理装置の異常検出装置、及び基板処理装置 2015年 7月23日
特開 2015-128808 基板処理装置の制御装置、及び基板処理装置 2015年 7月16日
特開 2015-130439 エッチング液、エッチング方法、およびはんだバンプの製造方法 2015年 7月16日
特開 2015-128117 天板開閉機構及び検査装置 2015年 7月 9日
特開 2015-128161 研磨方法 2015年 7月 9日
特開 2015-124572 バイパス管及びこれを備えた真空式液体収集システム 2015年 7月 6日

236 件中 121-135 件を表示

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2015-134393 2015-134963 2015-131351 2015-131360 2015-131979 2015-132173 2015-132542 2015-132623 2015-133448 2015-133449 2015-128808 2015-130439 2015-128117 2015-128161 2015-124572

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