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株式会社荏原製作所

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 ■ 2015年 出願公開件数ランキング    第200位 230件 (上昇2014年:第223位 204件)

 ■ 2015年 特許取得件数ランキング    第329位 83件 (上昇2014年:第333位 116件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-150662 研磨装置および研磨方法 2015年 8月24日
特開 2015-151553 アノードホルダ及びめっき装置 2015年 8月24日
特開 2015-152324 基板処理装置、および基板のエッジ欠けを検出する方法 2015年 8月24日
特開 2015-153761 洗浄ユニット及びそれを備えた洗浄装置 2015年 8月24日
特開 2015-147977 基板ホルダおよび該基板ホルダを備えためっき装置 2015年 8月20日
特開 2015-149438 状態報告装置、基板処理装置、及び状態報告方法 2015年 8月20日
特開 2015-145537 めっき装置 2015年 8月13日
特開 2015-146413 表示制御装置、及び基板処理装置 2015年 8月13日
特開 2015-146414 基板処理装置 2015年 8月13日
特開 2015-144253 基板洗浄装置および基板処理装置 2015年 8月 6日
特開 2015-142451 スイッチドリラクタンスモータのセンサレス駆動装置 2015年 8月 3日
特開 2015-136737 基板保持装置および研磨装置 2015年 7月30日
特開 2015-136775 研磨方法および研磨装置 2015年 7月30日
特開 2015-137374 めっき装置およびめっき方法 2015年 7月30日
特開 2015-138786 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置 2015年 7月30日

233 件中 106-120 件を表示

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2015-150662 2015-151553 2015-152324 2015-153761 2015-147977 2015-149438 2015-145537 2015-146413 2015-146414 2015-144253 2015-142451 2015-136737 2015-136775 2015-137374 2015-138786

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