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株式会社荏原製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第233位 176件 下降2015年:第206位 233件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-169728 真空ポンプ 2016年 9月23日
特開 2016-169734 モータポンプ 2016年 9月23日
特開 2016-169935 排ガス処理装置 2016年 9月23日
特開 2016-170310 レチクル搬送装置、検査装置およびレチクル搬送方法 2016年 9月23日
特開 2016-171144 半導体デバイス製造装置の構成部品を交換する装置 2016年 9月23日
特開 2016-167431 電子線検査装置及びクリーニング装置 2016年 9月15日
特開 2016-167514 基板洗浄装置、基板洗浄方法、および基板処理装置 2016年 9月15日
特開 2016-167531 基板搬送用ハンド 2016年 9月15日
特開 2016-167940 液封式モータ、及び、ポンプ装置 2016年 9月15日
特開 2016-163926 ハンドシャワーガンおよびウォーターハンマー低減機構 2016年 9月 8日
特開 2016-164579 非常用冷却ポンプシステム 2016年 9月 8日
特開 2016-160521 めっき装置 2016年 9月 5日
特開 2016-161285 液体ポンプのメインテナンス・スケジューラ 2016年 9月 5日
特開 2016-161338 廃油固化体の製造方法及び製造装置 2016年 9月 5日
特開 2016-155188 リテーナリング、基板保持装置、研磨装置およびリテーナリングのメンテナンス方法 2016年 9月 1日

176 件中 46-60 件を表示

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2016-169728 2016-169734 2016-169935 2016-170310 2016-171144 2016-167431 2016-167514 2016-167531 2016-167940 2016-163926 2016-164579 2016-160521 2016-161285 2016-161338 2016-155188

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