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株式会社荏原製作所

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　■　2016年出願公開件数ランキング　　　第233位　176件（2015年：第206位　233件）

　■　2016年特許取得件数ランキング　　　第254位　129件（2015年：第329位　83件）

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株式会社荏原製作所の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2016-136580	基板処理装置、ハウジングおよび処理ユニット	2016年 7月28日
特開 2016-133098	立軸ポンプ	2016年 7月25日
特開 2016-134306	電子光学装置及び検査装置	2016年 7月25日
特開 2016-129931	ドレッシングプロセスの監視方法および研磨装置	2016年 7月21日
特開 2016-130422	真空式排液収集システムおよび排液収集方法	2016年 7月21日
特開 2016-128209	研磨装置に使用される研磨パッドの研磨面を監視する方法、および研磨装置	2016年 7月14日
特開 2016-124053	研磨パッドの表面性状測定方法および装置	2016年 7月11日
特開 2016-124063	研磨装置およびその制御方法	2016年 7月11日
特開 2016-125292	扉の開閉検知装置	2016年 7月11日
特開 2016-127023	検査装置	2016年 7月11日
特開 2016-127069	基板ホルダ、基板ホルダで基板を保持する方法、及びめっき装置	2016年 7月11日
特開 2016-121673	ターボ形ポンプ	2016年 7月 7日
特開 2016-117137	基板処理装置	2016年 6月30日
特開 2016-117917	めっき方法、めっき装置、および基板ホルダ	2016年 6月30日
特開 2016-118100	ドライ真空ポンプ、およびドライ真空ポンプの製造方法	2016年 6月30日

176 件中 76-90 件を表示

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2016-136580 2016-133098 2016-134306 2016-129931 2016-130422 2016-128209 2016-124053 2016-124063 2016-125292 2016-127023 2016-127069 2016-121673 2016-117137 2016-117917 2016-118100

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