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株式会社荏原製作所

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  2016年 出願公開件数ランキング    第233位 176件 下降2015年:第206位 233件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第254位 129件 上昇2015年:第329位 83件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2016-119333 バフ処理装置、および、基板処理装置 2016年 6月30日
特開 2016-119368 コンディショニング装置、バフ処理装置、基板処理装置、ドレッサ、および、コンディショニング方法 2016年 6月30日
特開 2016-119378 表示制御システム、基板処理システム、及び、表示制御方法 2016年 6月30日
特開 2016-119406 基板処理装置 2016年 6月30日
特開 2016-112683 研磨装置 2016年 6月23日
特開 2016-111264 バフ処理装置、および、基板処理装置 2016年 6月20日
特開 2016-111265 バフ処理装置、および、基板処理装置 2016年 6月20日
特開 2016-106037 研磨装置 2016年 6月16日
特開 2016-106374 異物付着防止機能を備えた電子線検査装置及び方法 2016年 6月16日
特開 2016-101656 ドレッサーディスク洗浄用ブラシ、洗浄装置及び洗浄方法 2016年 6月 2日
特開 2016-97465 研磨面洗浄装置、研磨装置、および研磨面洗浄装置の製造方法 2016年 5月30日
特開 2016-98399 めっき装置及びめっき方法 2016年 5月30日
特開 2016-98839 軸封装置、及びこれを備えた流体機械 2016年 5月30日
特開 2016-98840 軸封装置の製造方法、及び流体機械の製造方法 2016年 5月30日
特開 2016-100368 基板洗浄装置、基板処理装置、および基板洗浄方法 2016年 5月30日

176 件中 91-105 件を表示

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2016-119333 2016-119368 2016-119378 2016-119406 2016-112683 2016-111264 2016-111265 2016-106037 2016-106374 2016-101656 2016-97465 2016-98399 2016-98839 2016-98840 2016-100368

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