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株式会社荏原製作所

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  2018年 出願公開件数ランキング    第114位 380件 上昇2017年:第123位 417件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6285800 研磨装置 2018年 2月28日
特許 6282418 吸音部材及びこの吸音部材を備えたセル形消音器 2018年 2月21日
特許 6282850 基板洗浄装置および基板処理装置 2018年 2月21日
特許 6283434 研磨装置 2018年 2月21日
特許 6279276 基板洗浄装置及び基板処理装置 2018年 2月14日
特許 6279539 放射性セシウム及び放射性ストロンチウムを含む放射性廃液の処理方法 2018年 2月14日
特許 6275421 研磨方法および研磨装置 2018年 2月 7日
特許 6275947 潤滑油流出抑制装置、回転機械、潤滑油の流出抑制方法 2018年 2月 7日
特許 6276449 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、プログラムを格納した記憶媒体 2018年 2月 7日
特許 6271182 消音板ユニットおよびこれを用いたセル形消音器ならびに消音設備 2018年 1月31日
特許 6271852 電子線応用装置の鏡筒部へ真空ポンプを接続する真空ポンプ用接続装置、及び該接続装置の設置方法 2018年 1月31日
特許 6271991 真空容器内のステージの設置構造 2018年 1月31日
特許 6272978 研磨フィルムの製造方法、研磨フィルム 2018年 1月31日
特許 6273094 検査用表示装置、欠陥判別方法、検査用表示プログラム 2018年 1月31日
特許 6265702 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2018年 1月24日

178 件中 151-165 件を表示

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6285800 6282418 6282850 6283434 6279276 6279539 6275421 6275947 6276449 6271182 6271852 6271991 6272978 6273094 6265702

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