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株式会社荏原製作所

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  2018年 出願公開件数ランキング    第114位 380件 上昇2017年:第123位 417件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6307428 研磨装置およびその制御方法 2018年 4月 4日
特許 6302189 渦電流センサを備えた基板保持装置 2018年 3月28日
特許 6302279 回転機器 2018年 3月28日
特許 6297308 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2018年 3月20日
特許 6297660 処理装置、これを備えためっき装置、搬送装置、及び処理方法 2018年 3月20日
特許 6298237 真空ポンプ用モータロータ及びこれを備えるモータ並びに真空ポンプ 2018年 3月20日
特許 6291199 検査装置および検査用画像データの生成方法 2018年 3月14日
特許 6291604 給水装置 2018年 3月14日
特許 6293519 研磨装置および研磨方法 2018年 3月14日
特許 6294130 検査装置 2018年 3月14日
特許 6295023 基板洗浄装置、基板洗浄方法、および研磨装置 2018年 3月14日
特許 6295107 基板処理システムおよび基板処理方法 2018年 3月14日
特許 6285117 可搬式排水ポンプ 2018年 2月28日
特許 6285199 アノードホルダ及びめっき装置 2018年 2月28日
特許 6285216 誘導電動機 2018年 2月28日

178 件中 136-150 件を表示

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6307428 6302189 6302279 6297308 6297660 6298237 6291199 6291604 6293519 6294130 6295023 6295107 6285117 6285199 6285216

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