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株式会社荏原製作所

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  2018年 出願公開件数ランキング    第114位 380件 上昇2017年:第123位 417件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6335103 基板保持装置 2018年 5月30日
特許 6335455 放射性セシウムと塩類とを含む排水の除染装置及び除染方法 2018年 5月30日
特許 6335587 基板保持機構、基板搬送装置、半導体製造装置 2018年 5月30日
特許 6335763 めっき装置及びめっき方法 2018年 5月30日
特許 6335777 基板ホルダ、基板ホルダで基板を保持する方法、及びめっき装置 2018年 5月30日
特許 6327958 研磨装置 2018年 5月23日
特許 6328577 荷重測定装置および荷重測定方法 2018年 5月23日
特許 6328582 めっき装置、および基板ホルダの電気接点の電気抵抗を決定する方法 2018年 5月23日
特許 6328602 油貯留構造体および流体継手 2018年 5月23日
特許 6328977 基板研磨装置 2018年 5月23日
特許 6329681 めっき装置及びめっき方法 2018年 5月23日
特許 6320208 立軸ポンプ 2018年 5月 9日
特許 6321353 基板洗浄装置および基板処理装置 2018年 5月 9日
特許 6322021 基板処理装置 2018年 5月 9日
特許 6316561 給液装置の運転装置、及び給液装置 2018年 4月25日

178 件中 106-120 件を表示

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6335103 6335455 6335587 6335763 6335777 6327958 6328577 6328582 6328602 6328977 6329681 6320208 6321353 6322021 6316561

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