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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第114位 380件
(2017年:第123位 417件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第170位 177件
(2017年:第183位 176件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6335103 | 基板保持装置 | 2018年 5月30日 | |
特許 6335455 | 放射性セシウムと塩類とを含む排水の除染装置及び除染方法 | 2018年 5月30日 | |
特許 6335587 | 基板保持機構、基板搬送装置、半導体製造装置 | 2018年 5月30日 | |
特許 6335763 | めっき装置及びめっき方法 | 2018年 5月30日 | |
特許 6335777 | 基板ホルダ、基板ホルダで基板を保持する方法、及びめっき装置 | 2018年 5月30日 | |
特許 6327958 | 研磨装置 | 2018年 5月23日 | |
特許 6328577 | 荷重測定装置および荷重測定方法 | 2018年 5月23日 | |
特許 6328582 | めっき装置、および基板ホルダの電気接点の電気抵抗を決定する方法 | 2018年 5月23日 | |
特許 6328602 | 油貯留構造体および流体継手 | 2018年 5月23日 | |
特許 6328977 | 基板研磨装置 | 2018年 5月23日 | |
特許 6329681 | めっき装置及びめっき方法 | 2018年 5月23日 | |
特許 6320208 | 立軸ポンプ | 2018年 5月 9日 | |
特許 6321353 | 基板洗浄装置および基板処理装置 | 2018年 5月 9日 | |
特許 6322021 | 基板処理装置 | 2018年 5月 9日 | |
特許 6316561 | 給液装置の運転装置、及び給液装置 | 2018年 4月25日 |
178 件中 106-120 件を表示
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6335103 6335455 6335587 6335763 6335777 6327958 6328577 6328582 6328602 6328977 6329681 6320208 6321353 6322021 6316561
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