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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第114位 380件
(2017年:第123位 417件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第170位 177件
(2017年:第183位 176件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6367763 | ウェーハ乾燥装置およびウェーハ乾燥方法 | 2018年 8月 1日 | |
特許 6368165 | 真空ポンプ装置 | 2018年 8月 1日 | |
特許 6368458 | 除害機能付真空ポンプ | 2018年 8月 1日 | |
特許 6368705 | 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 | 2018年 8月 1日 | |
特許 6362390 | ロータリージョイント、及び、研磨装置 | 2018年 7月25日 | |
特許 6357260 | 研磨装置、及び研磨方法 | 2018年 7月11日 | |
特許 6351216 | 水中ポンプ用ポンプ羽根及びこれを備えた水中ポンプ | 2018年 7月 4日 | |
特許 6352158 | 洗浄具、洗浄具の製造方法、および、基板洗浄装置 | 2018年 7月 4日 | |
特許 6353266 | 冷却装置、及び、基板処理装置 | 2018年 7月 4日 | |
特許 6353418 | 基板吸着方法、トップリングおよび基板研磨装置 | 2018年 7月 4日 | |
特許 6348028 | 基板処理装置 | 2018年 6月27日 | |
特許 6344950 | 研磨装置及び研磨方法 | 2018年 6月20日 | |
特許 6345393 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | 2018年 6月20日 | |
特許 6345474 | 基板研磨装置 | 2018年 6月20日 | |
特許 6345489 | 研磨液の研磨性能判定方法及び装置 | 2018年 6月20日 |
178 件中 76-90 件を表示
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6367763 6368165 6368458 6368705 6362390 6357260 6351216 6352158 6353266 6353418 6348028 6344950 6345393 6345474 6345489
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