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株式会社荏原製作所

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  2018年 出願公開件数ランキング    第114位 380件 上昇2017年:第123位 417件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

(ランキング更新日:2022年7月4日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6367763 ウェーハ乾燥装置およびウェーハ乾燥方法 2018年 8月 1日
特許 6368165 真空ポンプ装置 2018年 8月 1日
特許 6368458 除害機能付真空ポンプ 2018年 8月 1日
特許 6368705 海水淡水化システムおよびエネルギー回収装置 2018年 8月 1日
特許 6362390 ロータリージョイント、及び、研磨装置 2018年 7月25日
特許 6357260 研磨装置、及び研磨方法 2018年 7月11日
特許 6351216 水中ポンプ用ポンプ羽根及びこれを備えた水中ポンプ 2018年 7月 4日
特許 6352158 洗浄具、洗浄具の製造方法、および、基板洗浄装置 2018年 7月 4日
特許 6353266 冷却装置、及び、基板処理装置 2018年 7月 4日
特許 6353418 基板吸着方法、トップリングおよび基板研磨装置 2018年 7月 4日
特許 6348028 基板処理装置 2018年 6月27日
特許 6344950 研磨装置及び研磨方法 2018年 6月20日
特許 6345393 基板洗浄装置および基板洗浄方法 2018年 6月20日
特許 6345474 基板研磨装置 2018年 6月20日
特許 6345489 研磨液の研磨性能判定方法及び装置 2018年 6月20日

178 件中 76-90 件を表示

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6367763 6368165 6368458 6368705 6362390 6357260 6351216 6352158 6353266 6353418 6348028 6344950 6345393 6345474 6345489

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