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株式会社荏原製作所

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  2018年 出願公開件数ランキング    第114位 380件 上昇2017年:第123位 417件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6316624 軸受装置及びこれを備えた立軸ポンプ 2018年 4月25日
特許 6316730 ロール部材、ペンシル部材、及びそれらの少なくともいずれか一方を含む基板処理装置 2018年 4月25日
特許 6317171 昇降装置、及び、ユニット搬送方法 2018年 4月25日
特許 6317299 めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ 2018年 4月25日
特許 6312534 基板洗浄装置 2018年 4月18日
特許 6313196 研磨面洗浄装置、研磨装置、および研磨面洗浄装置の製造方法 2018年 4月18日
特許 6313611 研磨装置 2018年 4月18日
特許 6310260 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置 2018年 4月11日
特許 6305703 画像取得装置、画像取得方法及び欠陥検査装置 2018年 4月 4日
特許 6305841 リフト損失低減装置及びリフト損失低減方法 2018年 4月 4日
特許 6306927 反転機、基板処理装置、及び、反転機の傾き調整方法 2018年 4月 4日
特許 6307143 基板把持装置 2018年 4月 4日
特許 6307222 検査装置 2018年 4月 4日
特許 6307315 電子線検査装置 2018年 4月 4日
特許 6307322 反射鏡の姿勢調整構造 2018年 4月 4日

178 件中 121-135 件を表示

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6316624 6316730 6317171 6317299 6312534 6313196 6313611 6310260 6305703 6305841 6306927 6307143 6307222 6307315 6307322

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