株式会社荏原製作所
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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第114位 380件
（
2017年：第123位 417件）
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第170位 177件
（2017年：第183位 176件）
（ランキング更新日：2022年1月11日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6346509 | 基板処理装置及び基板搬送方法 | 2018年 6月20日 | |
| 特許 6346541 | バフ処理装置、および、基板処理装置 | 2018年 6月20日 | |
| 特許 6341702 | ポンプ、およびポンプシステム | 2018年 6月13日 | |
| 特許 6341733 | 横軸ポンプの内部点検装置および内部点検方法 | 2018年 6月13日 | |
| 特許 6342198 | 研磨装置の構成部品用のカバー、研磨装置の構成部品、および、研磨装置 | 2018年 6月13日 | |
| 特許 6343207 | 研磨方法および研磨装置 | 2018年 6月13日 | |
| 特許 6336022 | めっき装置、めっき方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2018年 6月 6日 | |
| 特許 6336893 | 研磨装置 | 2018年 6月 6日 | |
| 特許 6339351 | 基板洗浄装置および基板処理装置 | 2018年 6月 6日 | |
| 特許 6339954 | 洗浄薬液供給装置、洗浄薬液供給方法、及び洗浄ユニット | 2018年 6月 6日 | |
| 特許 6340205 | 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 | 2018年 6月 6日 | |
| 特許 6340249 | テープ貼り付け装置およびテープ貼り付け方法 | 2018年 6月 6日 | |
| 特許 6333908 | 真空排気装置 | 2018年 5月30日 | |
| 特許 6334026 | スクラバー | 2018年 5月30日 | |
| 特許 6334993 | 監視装置 | 2018年 5月30日 |
178 件中 91-105 件を表示
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6346509 6346541 6341702 6341733 6342198 6343207 6336022 6336893 6339351 6339954 6340205 6340249 6333908 6334026 6334993
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