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株式会社荏原製作所

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  2018年 出願公開件数ランキング    第114位 380件 上昇2017年:第123位 417件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第170位 177件 上昇2017年:第183位 176件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6346509 基板処理装置及び基板搬送方法 2018年 6月20日
特許 6346541 バフ処理装置、および、基板処理装置 2018年 6月20日
特許 6341702 ポンプ、およびポンプシステム 2018年 6月13日
特許 6341733 横軸ポンプの内部点検装置および内部点検方法 2018年 6月13日
特許 6342198 研磨装置の構成部品用のカバー、研磨装置の構成部品、および、研磨装置 2018年 6月13日
特許 6343207 研磨方法および研磨装置 2018年 6月13日
特許 6336022 めっき装置、めっき方法、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2018年 6月 6日
特許 6336893 研磨装置 2018年 6月 6日
特許 6339351 基板洗浄装置および基板処理装置 2018年 6月 6日
特許 6339954 洗浄薬液供給装置、洗浄薬液供給方法、及び洗浄ユニット 2018年 6月 6日
特許 6340205 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 2018年 6月 6日
特許 6340249 テープ貼り付け装置およびテープ貼り付け方法 2018年 6月 6日
特許 6333908 真空排気装置 2018年 5月30日
特許 6334026 スクラバー 2018年 5月30日
特許 6334993 監視装置 2018年 5月30日

178 件中 91-105 件を表示

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6346509 6346541 6341702 6341733 6342198 6343207 6336022 6336893 6339351 6339954 6340205 6340249 6333908 6334026 6334993

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