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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6483484 基板処理装置 2019年 3月13日
特許 6483568 材料の疲労特性の評価方法 2019年 3月13日
特許 6483772 研磨装置 2019年 3月13日
特許 6475604 研磨方法 2019年 2月27日
特許 6475801 基板洗浄装置 2019年 2月27日
特許 6472653 除害機能付真空ポンプ 2019年 2月20日
特許 6472693 基板処理装置 2019年 2月20日
特許 6472735 すべり軸受装置 2019年 2月20日
特許 6472738 渦防止装置、および渦防止装置を備えるポンプ設備 2019年 2月20日
特許 6473042 電磁石装置 2019年 2月20日
特許 6473050 研磨装置 2019年 2月20日
特許 6473248 基板洗浄装置、基板処理装置、および基板洗浄方法 2019年 2月20日
特許 6473483 壊食防止構造およびこれを用いたポンプ 2019年 2月20日
特許 6469384 先行待機型ポンプ 2019年 2月13日
特許 6469520 ポンプ装置、遠隔制御装置、及び、ポンプ装置の制御方法 2019年 2月13日

169 件中 136-150 件を表示

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6483484 6483568 6483772 6475604 6475801 6472653 6472693 6472735 6472738 6473042 6473050 6473248 6473483 6469384 6469520

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