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株式会社荏原製作所

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  2019年 出願公開件数ランキング    第145位 326件 下降2018年:第114位 380件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第168位 167件 上昇2018年:第170位 177件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6454199 圧力校正用治具、及び、基板処理装置 2019年 1月16日
特許 6454326 基板処理装置、基板処理システム、および基板処理方法 2019年 1月16日
特許 6449194 研磨装置、研磨ヘッド、およびリテーナリング 2019年 1月 9日
特許 6450348 真空式汚水収集装置のための中央監視装置、監視システムおよび監視方法 2019年 1月 9日

169 件中 166-169 件を表示

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6454199 6454326 6449194 6450348

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