株式会社荏原製作所
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（
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（
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株式会社荏原製作所の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6499330 | 研磨装置および研磨方法 | 2019年 4月10日 | |
| 特許 6495689 | 液封式モータ、及び、ポンプ装置 | 2019年 4月 3日 | |
| 特許 6489887 | 液封式モータ、および、液封式モータの製造方法 | 2019年 3月27日 | |
| 特許 6491215 | 立軸ポンプ | 2019年 3月27日 | |
| 特許 6491419 | ハウジングおよびこれを備えた砥液供給ユニット並びに基板処理装置 | 2019年 3月27日 | |
| 特許 6491592 | キャリブレーション装置及びキャリブレーション方法 | 2019年 3月27日 | |
| 特許 6491903 | 基板洗浄装置および方法 | 2019年 3月27日 | |
| 特許 6491908 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法、および基板処理装置 | 2019年 3月27日 | |
| 特許 6486757 | 基板処理装置 | 2019年 3月20日 | |
| 特許 6486986 | 液体供給装置及び液体供給方法 | 2019年 3月20日 | |
| 特許 6488041 | めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ | 2019年 3月20日 | |
| 特許 6488167 | 渦巻ポンプ | 2019年 3月20日 | |
| 特許 6488174 | 排水ポンプ機場、ポンプ管理方法、及びポンプ管理システム | 2019年 3月20日 | |
| 特許 6488207 | すべり軸受装置 | 2019年 3月20日 | |
| 特許 6480510 | 弾性膜、基板保持装置、および研磨装置 | 2019年 3月13日 |
169 件中 121-135 件を表示
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6499330 6495689 6489887 6491215 6491419 6491592 6491903 6491908 6486757 6486986 6488041 6488167 6488174 6488207 6480510
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