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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-105220 めっき装置、基板ホルダ、抵抗測定モジュール、および基板ホルダを検査する方法 2021年 7月26日
特開 2021-105372 ポンプ装置、ポンプ機場 2021年 7月26日
特開 2021-105389 給水装置 2021年 7月26日
特開 2021-105449 ドローン用エアロック装置 2021年 7月26日
特開 2021-106209 洗浄装置、研磨装置 2021年 7月26日
特開 2021-106214 洗浄装置、研磨装置 2021年 7月26日
特開 2021-102193 アンチモン吸着材並びにアンチモン含有液の処理装置及び処理方法 2021年 7月15日
特開 2021-102805 羽根車の製造方法、構造物の製造方法及び造形物の製造方法 2021年 7月15日
特開 2021-102817 半導体製造装置、半導体製造装置の故障予知方法、および半導体製造装置の故障予知プログラム 2021年 7月15日
特開 2021-102931 給水装置および給水装置のメンテナンス方法 2021年 7月15日
特開 2021-103723 洗浄装置、研磨装置、洗浄装置において基板の回転速度を算出する装置および方法 2021年 7月15日
特開 2021-103789 機能性チップを備える基板を研磨する方法 2021年 7月15日
特開 2021-100776 研磨ユニット、基板処理装置、および研磨方法 2021年 7月 8日
特開 2021-101162 材料の残存寿命を推定する方法および装置 2021年 7月 8日
特開 2021-101257 観察装置、水中機械および観察方法 2021年 7月 8日

287 件中 121-135 件を表示

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2021-105220 2021-105372 2021-105389 2021-105449 2021-106209 2021-106214 2021-102193 2021-102805 2021-102817 2021-102931 2021-103723 2021-103789 2021-100776 2021-101162 2021-101257

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