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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第150位 281件
(2020年:第163位 266件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第114位 242件
(2020年:第151位 191件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-160025 | 研磨装置および研磨方法 | 2021年10月11日 | |
特開 2021-161874 | ケーシング組立体およびポンプ装置 | 2021年10月11日 | |
特開 2021-161875 | ポンプ装置、給水装置、およびポンプ装置のメンテナンス方法 | 2021年10月11日 | |
特開 2021-163407 | 故障原因調査装置 | 2021年10月11日 | |
特開 2021-163955 | 洗浄部材の洗浄装置、基板洗浄装置及び洗浄部材アセンブリ | 2021年10月11日 | |
特開 2021-154421 | 研磨ヘッドシステムおよび研磨装置 | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-154471 | アクチュエータの可動面の高さのばらつきを検出する方法 | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-154477 | 研磨装置 | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-156170 | ポンプ装置及び制御装置 | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-156172 | ポンプ装置及びトルク伝達装置の運転方法 | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-156257 | ポンプ装置 | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-157693 | 操業支援装置、操業支援プログラム、操業支援方法及び研磨装置 | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-146446 | 処理システム、処理部交換装置、処理部判定装置、及び処理システムを用いてグラインダの処理部を交換する方法 | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-146450 | 研磨方法および研磨装置 | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-146493 | ワークピースの化学機械研磨システム、演算システム、および化学機械研磨のシミュレーションモデルを作成する方法 | 2021年 9月27日 |
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2021-160025 2021-161874 2021-161875 2021-163407 2021-163955 2021-154421 2021-154471 2021-154477 2021-156170 2021-156172 2021-156257 2021-157693 2021-146446 2021-146450 2021-146493
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