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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

(ランキング更新日:2025年6月6日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-160025 研磨装置および研磨方法 2021年10月11日
特開 2021-161874 ケーシング組立体およびポンプ装置 2021年10月11日
特開 2021-161875 ポンプ装置、給水装置、およびポンプ装置のメンテナンス方法 2021年10月11日
特開 2021-163407 故障原因調査装置 2021年10月11日
特開 2021-163955 洗浄部材の洗浄装置、基板洗浄装置及び洗浄部材アセンブリ 2021年10月11日
特開 2021-154421 研磨ヘッドシステムおよび研磨装置 2021年10月 7日
特開 2021-154471 アクチュエータの可動面の高さのばらつきを検出する方法 2021年10月 7日
特開 2021-154477 研磨装置 2021年10月 7日
特開 2021-156170 ポンプ装置及び制御装置 2021年10月 7日
特開 2021-156172 ポンプ装置及びトルク伝達装置の運転方法 2021年10月 7日
特開 2021-156257 ポンプ装置 2021年10月 7日
特開 2021-157693 操業支援装置、操業支援プログラム、操業支援方法及び研磨装置 2021年10月 7日
特開 2021-146446 処理システム、処理部交換装置、処理部判定装置、及び処理システムを用いてグラインダの処理部を交換する方法 2021年 9月27日
特開 2021-146450 研磨方法および研磨装置 2021年 9月27日
特開 2021-146493 ワークピースの化学機械研磨システム、演算システム、および化学機械研磨のシミュレーションモデルを作成する方法 2021年 9月27日

287 件中 46-60 件を表示

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2021-160025 2021-161874 2021-161875 2021-163407 2021-163955 2021-154421 2021-154471 2021-154477 2021-156170 2021-156172 2021-156257 2021-157693 2021-146446 2021-146450 2021-146493

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