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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-181154 研磨装置、及び、研磨方法 2021年11月25日
特開 2021-181211 AM装置およびAM方法 2021年11月25日
特開 2021-181764 ポンプ 2021年11月25日
特開 2021-182605 受け渡し装置、基板処理装置 2021年11月25日
特開 2021-178370 研磨装置及び研磨方法 2021年11月18日
特開 2021-178989 プレート、めっき装置、及びプレートの製造方法 2021年11月18日
特開 2021-179177 温度監視システム、回転機システム、携帯端末、温度監視方法 2021年11月18日
特開 2021-179192 ポンプ装置及び電動機 2021年11月18日
特開 2021-180219 薬液供給装置 2021年11月18日
特開 2021-180263 膜厚測定装置、研磨装置及び膜厚測定方法 2021年11月18日
特開 2021-180264 バリアメタルフリー金属配線構造の製造方法、およびバリアメタルフリー金属配線構造 2021年11月18日
特開 2021-176664 パッド温度調整装置、パッド温度調整方法、および研磨装置 2021年11月11日
特開 2021-177074 表示システム、表示装置及び表示方法 2021年11月11日
特開 2021-177416 情報処理システム、情報処理方法、情報処理装置及び端末装置 2021年11月11日
特開 2021-175893 モータポンプ、モータポンプに冷却ジャケットを取り付ける方法、およびモータポンプの搬送液の温度範囲を拡大する方法 2021年11月 4日

287 件中 16-30 件を表示

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2021-181154 2021-181211 2021-181764 2021-182605 2021-178370 2021-178989 2021-179177 2021-179192 2021-180219 2021-180263 2021-180264 2021-176664 2021-177074 2021-177416 2021-175893

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