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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-134375 洗浄方法及び洗浄装置 2021年 9月13日
特開 2021-134659 ポンプ装置の状態を表示する表示方法、ポンプ装置、ポンプシステム、コンピュータプログラム、および表示器 2021年 9月13日
特開 2021-134823 回転機械の防振装置、ポンプ設備、回転機械の防振装置の調整方法 2021年 9月13日
特開 2021-134824 回転機械の防振システム、ポンプ設備 2021年 9月13日
特開 2021-136258 基板処理装置、および基板処理方法 2021年 9月13日
特開 2021-136302 基板処理装置、および触媒処理部材の作成方法 2021年 9月13日
特開 2021-130145 研磨装置および研磨方法 2021年 9月 9日
特開 2021-130848 パドル、該パドルを備えた処理装置、および該パドルの製造方法 2021年 9月 9日
特開 2021-130852 めっき装置 2021年 9月 9日
特開 2021-131057 給水装置 2021年 9月 9日
特開 2021-131074 ポンプ、ポンプ機場及びポンプ点検方法 2021年 9月 9日
特開 2021-132153 メンテナンス部材、基板保持モジュール、めっき装置、および、メンテナンス方法 2021年 9月 9日
特開 2021-132154 基板保持装置 2021年 9月 9日
特開 2021-132491 電動機組立体 2021年 9月 9日
特開 2021-126739 基板処理方法および基板処理装置 2021年 9月 2日

287 件中 76-90 件を表示

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2021-134375 2021-134659 2021-134823 2021-134824 2021-136258 2021-136302 2021-130145 2021-130848 2021-130852 2021-131057 2021-131074 2021-132153 2021-132154 2021-132491 2021-126739

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