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株式会社荏原製作所

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  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6845648 給水装置 2021年 3月24日
特許 6847286 基板処理装置 2021年 3月24日
特許 6847691 めっき装置およびめっき装置とともに使用される基板ホルダ 2021年 3月24日
特許 6847811 研磨方法および研磨装置 2021年 3月24日
特許 6849506 基板保持装置、基板処理装置、基板処理方法、およびプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2021年 3月24日
特許 6842505 研磨装置、及び研磨方法 2021年 3月17日
特許 6842851 膜厚測定装置、研磨装置、膜厚測定方法、及び、研磨方法 2021年 3月17日
特許 6842859 ドレッシング装置、研磨装置、ホルダー、ハウジング及びドレッシング方法 2021年 3月17日
特許 6843126 基板処理装置 2021年 3月17日
特許 6840005 給水システム、および、給水システムの制御方法 2021年 3月10日
特許 6840617 研磨装置および研磨方法 2021年 3月10日
特許 6840823 給水装置 2021年 3月10日
特許 6841687 めっき装置およびめっき方法 2021年 3月10日
特許 6836432 基板処理装置および基板処理方法 2021年 3月 3日
特許 6836491 デバイスが形成された基板を個々のチップに分割するための方法および装置 2021年 3月 3日

242 件中 196-210 件を表示

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6845648 6847286 6847691 6847811 6849506 6842505 6842851 6842859 6843126 6840005 6840617 6840823 6841687 6836432 6836491

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