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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6836980 基板洗浄方法 2021年 3月 3日
特許 6839041 ポンプ設備及びその運転支援方法 2021年 3月 3日
特許 6833557 めっき装置及びめっき方法 2021年 2月24日
特許 6833591 基板保持装置、弾性膜、研磨装置、および弾性膜の交換方法 2021年 2月24日
特許 6835670 基板処理装置 2021年 2月24日
特許 6835757 情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法、プログラム及び基板処理装置 2021年 2月24日
特許 6836351 排ガス処理装置 2021年 2月24日
特許 6831360 洗浄装置及び洗浄方法 2021年 2月17日
特許 6827366 横軸ポンプ 2021年 2月10日
特許 6827663 基板の研磨装置 2021年 2月10日
特許 6828082 真空式排液収集システムおよび排液収集方法 2021年 2月10日
特許 6829645 電気めっき装置および電気めっき装置における洗浄方法 2021年 2月10日
特許 6829653 研磨装置および研磨方法 2021年 2月10日
特許 6823421 水中モータ及び防水コネクタ 2021年 2月 3日
特許 6823541 キャリブレーション方法およびキャリブレーションプログラム 2021年 2月 3日

242 件中 211-225 件を表示

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6836980 6839041 6833557 6833591 6835670 6835757 6836351 6831360 6827366 6827663 6828082 6829645 6829653 6823421 6823541

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