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株式会社荏原製作所

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  2021年 出願公開件数ランキング    第150位 281件 上昇2020年:第163位 266件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第114位 242件 上昇2020年:第151位 191件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6824072 支持体、ポンプ及び支持体の固定方法 2021年 2月 3日
特許 6825829 呼水栓、および呼水栓を備えるポンプ 2021年 2月 3日
特許 6826437 供給液体製造装置および供給液体製造方法 2021年 2月 3日
特許 6826470 アノード電極部材、監視装置、及び電気防食システム 2021年 2月 3日
特許 6820799 情報処理装置、基準データ決定装置、情報処理方法、基準データ決定方法及びプログラム 2021年 1月27日
特許 6821471 光軸調整方法および電子線検査装置 2021年 1月27日
特許 6814550 ポンプ装置 2021年 1月20日
特許 6815817 アノードユニットおよび該アノードユニットを備えためっき装置 2021年 1月20日
特許 6815912 洗浄装置及び基板処理装置 2021年 1月20日
特許 6817137 渦発生防止装置およびポンプ設備 2021年 1月20日
特許 6817778 局所研磨装置、局所研磨方法およびプログラム 2021年 1月20日
特許 6817896 基板研磨装置および基板研磨方法 2021年 1月20日
特許 6818614 基板処理装置および基板処理装置を含む基板処理システム 2021年 1月20日
特許 6811829 ポンプを備えるシステムの制御パラメータを変更する方法、制御パラメータを管理する管理方法、表示方法、管理装置、およびシステム 2021年 1月13日
特許 6813390 液封式真空ポンプ 2021年 1月13日

242 件中 226-240 件を表示

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6824072 6825829 6826437 6826470 6820799 6821471 6814550 6815817 6815912 6817137 6817778 6817896 6818614 6811829 6813390

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