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信越半導体株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第330位 130件 上昇2012年:第404位 100件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第255位 154件 下降2012年:第234位 161件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5145792 枚葉式の熱処理装置及び熱処理方法 2013年 2月20日
特許 5140990 エピタキシャルシリコンウエーハの製造方法 2013年 2月13日
特許 5141406 シリコンエピタキシャルウェーハの評価方法及び製造方法 2013年 2月13日
特許 5145131 研磨ヘッドの製造方法 2013年 2月13日 共同出願
特許 5135935 貼り合わせウエーハの製造方法 2013年 2月 6日
特許 5131170 単結晶製造用上部ヒーターおよび単結晶製造装置ならびに単結晶製造方法 2013年 1月30日
特許 5130894 イオン注入条件の管理方法 2013年 1月30日
特許 5130808 ウエーハ熱処理用治具およびこれを備えた縦型熱処理用ボート 2013年 1月30日
特許 5125098 窒化物半導体自立基板の製造方法 2013年 1月23日
特許 5126267 シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶製造装置 2013年 1月23日
特許 5125983 シリコン単結晶の製造方法 2013年 1月23日
特許 5125003 シリコン単結晶の製造システムおよびこれを用いたシリコン単結晶の製造方法 2013年 1月23日
特許 5125194 貼り合わせウエーハの製造方法 2013年 1月23日
特許 5124973 SOIウェーハの製造方法 2013年 1月23日
特許 5124931 多層SOIウエーハの製造方法 2013年 1月23日

154 件中 136-150 件を表示

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5145792 5140990 5141406 5145131 5135935 5131170 5130894 5130808 5125098 5126267 5125983 5125003 5125194 5124973 5124931

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