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信越半導体株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第318位 124件 下降2014年:第313位 122件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第308位 89件 下降2014年:第258位 155件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5835158 黒鉛ルツボ 2015年12月24日
特許 5837290 エピタキシャルウェーハの製造方法及びエピタキシャル成長装置 2015年12月24日
特許 5830215 エピタキシャルウエーハ並びにその製造方法 2015年12月 9日
特許 5831436 シリコン単結晶の製造方法 2015年12月 9日
特許 5828307 シリコン基板の再結合ライフタイム測定の前処理方法 2015年12月 2日
特許 5819600 半導体ウェーハの評価方法 2015年11月24日
特許 5821828 SOIウェーハの製造方法 2015年11月24日
特許 5821883 テンプレートアセンブリ及びテンプレートアセンブリの製造方法 2015年11月24日
特許 5817542 シリコン基板の製造方法 2015年11月18日
特許 5811355 エピタキシャルウェーハ製造装置およびそれを用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 2015年11月11日
特許 5807505 エピタキシャルウエーハの製造方法 2015年11月10日
特許 5807522 エピタキシャル成長装置 2015年11月10日
特許 5807580 研磨ヘッド及び研磨装置 2015年11月10日
特許 5807648 両面研磨装置用キャリア及びウェーハの両面研磨方法 2015年11月10日
特許 5803601 研磨スラリーの供給方法及び供給装置、並びに研磨装置 2015年11月 4日

90 件中 1-15 件を表示

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5835158 5837290 5830215 5831436 5828307 5819600 5821828 5821883 5817542 5811355 5807505 5807522 5807580 5807648 5803601

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