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信越半導体株式会社

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 ■ 2021年 特許取得件数ランキング    第359位 73件 (上昇2020年:第364位 72件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6977657 両面研磨装置用キャリアの保管方法及びウェーハの両面研磨方法 2021年12月 8日
特許 6973368 ウェーハの平坦度の評価方法及び評価装置 2021年11月24日
特許 6973361 酸素濃度測定方法 2021年11月24日
特許 6973340 給排気制御装置、ウェーハ処理装置、及びウェーハ処理方法 2021年11月24日
特許 6969579 ワークの切断方法及びワイヤソー 2021年11月24日
特許 6968670 サセプタ、エピタキシャルウェーハの製造方法 2021年11月17日
特許 6965305 両面研磨装置 2021年11月10日
特許 6965861 気相成長装置 2021年11月10日
特許 6962205 半導体装置の評価装置 2021年11月 5日
特許 6954083 FZ用シリコン原料棒の製造方法およびFZシリコン単結晶の製造方法 2021年10月27日
特許 6955675 サンプル作製方法、欠陥観察方法 2021年10月27日
特許 6947137 ウェーハの金属汚染の評価方法およびウェーハの製造工程の管理方法 2021年10月13日
特許 6947135 研磨装置、ウェーハの研磨方法、及び、ウェーハの製造方法 2021年10月13日
特許 6945805 エピタキシャルウェーハの製造方法 2021年10月 6日
特許 6943217 発光素子の配光特性の調整方法及び発光素子の製造方法 2021年 9月29日

73 件中 1-15 件を表示

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6977657 6973368 6973361 6973340 6969579 6968670 6965305 6965861 6962205 6954083 6955675 6947137 6947135 6945805 6943217

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