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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6791208 | 発光素子の製造方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6791453 | 半導体基板の熱酸化膜形成方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6791454 | 半導体基板の熱酸化膜形成方法 | 2020年11月25日 | |
特許 6784237 | シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 | 2020年11月11日 | |
特許 6784248 | 点欠陥の評価方法 | 2020年11月11日 | |
特許 6779469 | 試料分析方法、試料導入装置 | 2020年11月 4日 | |
特許 6780800 | ウェーハの研磨方法及び研磨装置 | 2020年11月 4日 | |
特許 6777013 | 単結晶の製造方法 | 2020年10月28日 | |
特許 6777046 | 再結合ライフタイムの制御方法 | 2020年10月28日 | |
特許 6770720 | エピタキシャルウェーハの製造方法 | 2020年10月21日 | |
特許 6773070 | シリコンウェーハの評価方法及びシリコンウェーハの製造方法 | 2020年10月21日 | |
特許 6766786 | シリコン単結晶基板中の炭素濃度評価方法、及び半導体デバイスの製造方法 | 2020年10月14日 | |
特許 6760141 | 発光素子及びその製造方法 | 2020年 9月23日 | |
特許 6760245 | 薄膜SOI層を有するSOIウェーハの製造方法 | 2020年 9月23日 | |
特許 6756244 | 半導体シリコン単結晶の製造方法 | 2020年 9月16日 |
75 件中 1-15 件を表示
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