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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2012年 出願公開件数ランキング    第343位 120件 上昇2011年:第376位 103件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第464位 75件 上昇2011年:第886位 31件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-253211 マスク製造用装置 2012年12月20日
特開 2012-253055 荷電粒子ビーム描画装置及び描画方法 2012年12月20日 共同出願
特開 2012-251785 検査装置および検査方法 2012年12月20日
特開 2012-253316 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年12月20日
特開 2012-248676 EUVマスクおよびその製造方法 2012年12月13日
特開 2012-248724 電子銃、荷電粒子ビーム描画装置及びパーティクルの除去方法 2012年12月13日
特開 2012-243968 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年12月10日
特開 2012-243921 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2012年12月10日
特開 2012-243842 荷電粒子ビーム描画装置及び描画方法 2012年12月10日
特開 2012-243926 半導体製造装置及び半導体製造方法 2012年12月10日
特開 2012-243939 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2012年12月10日
特開 2012-243969 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年12月10日
特開 2012-243967 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年12月10日
特開 2012-241779 真空接続装置、荷電粒子ビーム描画装置および排気装置の荷電粒子ビーム描画装置への取付方法 2012年12月10日
特開 2012-238761 DACアンプの評価方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2012年12月 6日

120 件中 1-15 件を表示

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2012-253211 2012-253055 2012-251785 2012-253316 2012-248676 2012-248724 2012-243968 2012-243921 2012-243842 2012-243926 2012-243939 2012-243969 2012-243967 2012-241779 2012-238761

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