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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2023年 出願公開件数ランキング    第609位 49件 下降2022年:第572位 53件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第509位 54件 下降2022年:第398位 74件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2023-180856 マルチ荷電粒子ビームの評価方法、マルチ荷電粒子ビーム描画方法、及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置用アパーチャアレイ基板の検査方法 2023年12月21日
特開 2023-177932 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2023年12月14日
特開 2023-172433 マルチ荷電粒子ビーム照射装置及びマルチ荷電粒子ビーム照射方法 2023年12月 6日
特開 2023-170809 気相成長装置 2023年12月 1日
特開 2023-168012 被覆率算出方法、荷電粒子ビーム描画方法、被覆率算出装置及び荷電粒子ビーム描画装置 2023年11月24日
特開 2023-165612 気相成長装置、及びリフレクタ 2023年11月16日
特開 2023-160972 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2023年11月 2日
特開 2023-158784 電磁レンズ及び電子源機構 2023年10月31日
特開 2023-142285 成膜方法 2023年10月 5日
特開 2023-132765 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム 2023年 9月22日
特開 2023-130984 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2023年 9月21日
特開 2023-128550 マルチ2次荷電粒子ビーム検出装置 2023年 9月14日
特開 2023-119902 マルチ電子ビーム描画装置及びマルチ電子ビーム描画方法 2023年 8月29日
特開 2023-119903 パターン検査方法、及びパターン検査装置 2023年 8月29日
特開 2023-118434 マルチ荷電粒子ビーム装置の光学系調整方法及びプログラム 2023年 8月25日

49 件中 1-15 件を表示

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2023-180856 2023-177932 2023-172433 2023-170809 2023-168012 2023-165612 2023-160972 2023-158784 2023-142285 2023-132765 2023-130984 2023-128550 2023-119902 2023-119903 2023-118434

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