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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2020-205378	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2020年12月24日
特開 2020-205314	マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置	2020年12月24日
特開 2020-205161	マルチビーム検査装置	2020年12月24日
特開 2020-205160	収差補正器及びマルチ電子ビーム照射装置	2020年12月24日
特開 2020-204497	検査装置	2020年12月24日
特開 2020-201394	マスク検査装置、電子ビーム検査装置、マスク検査方法、及び電子ビーム検査方法	2020年12月17日
特開 2020-187916	荷電粒子ビーム装置	2020年11月19日
特開 2020-184582	荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2020年11月12日
特開 2020-183928	電子ビーム検査方法及び電子ビーム検査装置	2020年11月12日
特開 2020-184583	荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2020年11月12日
特開 2020-180815	ステージ機構及びテーブル高さ位置の調整方法	2020年11月 5日
特開 2020-180034	オゾン供給装置、オゾン供給方法及び荷電粒子ビーム照射システム	2020年11月 5日
特開 2020-181902	マルチ荷電粒子ビーム描画装置	2020年11月 5日
特開 2020-181963	半導体製造方法及び半導体装置	2020年11月 5日
特開 2020-178055	マルチ荷電粒子ビーム描画装置	2020年10月29日

79 件中 1-15 件を表示

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2020-205378 2020-205314 2020-205161 2020-205160 2020-204497 2020-201394 2020-187916 2020-184582 2020-183928 2020-184583 2020-180815 2020-180034 2020-181902 2020-181963 2020-178055

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