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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2011年 出願公開件数ランキング    第376位 103件 下降2010年:第347位 127件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第886位 31件 上昇2010年:第2005位 9件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-249509 荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法 2011年12月 8日
特開 2011-243805 描画データの作成方法、荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2011年12月 1日
特開 2011-243849 描画装置及び描画方法 2011年12月 1日
特開 2011-231388 成膜装置および成膜方法 2011年11月17日
特開 2011-228488 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2011年11月10日
特開 2011-228503 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2011年11月10日
特開 2011-228489 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2011年11月10日
特開 2011-228498 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2011年11月10日
特開 2011-228501 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 2011年11月10日
特開 2011-222916 描画装置、描画方法および描画装置の異常診断方法 2011年11月 4日
特開 2011-221499 欠陥推定装置および欠陥推定方法並びに検査装置および検査方法 2011年11月 4日
特開 2011-221264 検査方法および検査装置 2011年11月 4日 共同出願
特開 2011-223021 荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法 2011年11月 4日
特開 2011-196952 検査装置および検査方法 2011年10月 6日
特開 2011-195346 成膜装置および成膜方法 2011年10月 6日

103 件中 1-15 件を表示

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2011-249509 2011-243805 2011-243849 2011-231388 2011-228488 2011-228503 2011-228489 2011-228498 2011-228501 2011-222916 2011-221499 2011-221264 2011-223021 2011-196952 2011-195346

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