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■ 2011年 出願公開件数ランキング 件
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2010年: 件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 件
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2010年: 件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2011-249509 | 荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法 | 2011年12月 8日 | |
| 特開 2011-243805 | 描画データの作成方法、荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年12月 1日 | |
| 特開 2011-243849 | 描画装置及び描画方法 | 2011年12月 1日 | |
| 特開 2011-231388 | 成膜装置および成膜方法 | 2011年11月17日 | |
| 特開 2011-228488 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年11月10日 | |
| 特開 2011-228503 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年11月10日 | |
| 特開 2011-228489 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年11月10日 | |
| 特開 2011-228498 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2011年11月10日 | |
| 特開 2011-228501 | 荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置 | 2011年11月10日 | |
| 特開 2011-222916 | 描画装置、描画方法および描画装置の異常診断方法 | 2011年11月 4日 | |
| 特開 2011-221499 | 欠陥推定装置および欠陥推定方法並びに検査装置および検査方法 | 2011年11月 4日 | |
| 特開 2011-221264 | 検査方法および検査装置 | 2011年11月 4日 | 共同出願 |
| 特開 2011-223021 | 荷電粒子線描画装置のパーティクル除去方法 | 2011年11月 4日 | |
| 特開 2011-196952 | 検査装置および検査方法 | 2011年10月 6日 | |
| 特開 2011-195346 | 成膜装置および成膜方法 | 2011年10月 6日 |
103 件中 1-15 件を表示
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2011-249509 2011-243805 2011-243849 2011-231388 2011-228488 2011-228503 2011-228489 2011-228498 2011-228501 2011-222916 2011-221499 2011-221264 2011-223021 2011-196952 2011-195346
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