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株式会社ニューフレアテクノロジー

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株式会社ニューフレアテクノロジーの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2013-251558	半導体製造装置および半導体製造方法	2013年12月12日
特開 2013-243285	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2013年12月 5日
特開 2013-239492	評価用レイアウトデータ生成装置、荷電粒子ビーム描画装置及び評価用レイアウトデータ生成方法	2013年11月28日
特開 2013-232616	荷電粒子ビームの偏向形状誤差取得方法及び荷電粒子ビーム描画方法	2013年11月14日
特開 2013-225665	炭化珪素の成膜装置および炭化珪素の成膜方法	2013年10月31日	共同出願
特開 2013-222831	マスク描画装置のクリーニング方法、マスク描画装置	2013年10月28日
特開 2013-214093	パターンデータ作成方法、マスク作成方法、半導体装置の製造方法、パターン作成方法及びプログラム	2013年10月17日
特開 2013-211320	荷電粒子ビーム描画装置、パターン検査装置及びレイアウト表示方法	2013年10月10日
特開 2013-206996	荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法	2013年10月 7日
特開 2013-207253	描画データの検査方法及び描画データの検査装置	2013年10月 7日
特開 2013-207135	成形オフセット調整方法及び荷電粒子ビーム描画装置	2013年10月 7日
特開 2013-207254	荷電粒子ビーム描画装置、検査装置、及び描画データの検査方法	2013年10月 7日
特開 2013-207196	成膜装置および成膜方法	2013年10月 7日
特開 2013-207277	半導体製造装置および半導体製造方法	2013年10月 7日
特開 2013-197468	マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法	2013年 9月30日

100 件中 1-15 件を表示

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2013-251558 2013-243285 2013-239492 2013-232616 2013-225665 2013-222831 2013-214093 2013-211320 2013-206996 2013-207253 2013-207135 2013-207254 2013-207196 2013-207277 2013-197468

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