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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2021年 出願公開件数ランキング    第595位 53件 下降2020年:第433位 79件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第483位 50件 下降2020年:第402位 64件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-197263 マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 2021年12月27日
特開 2021-197264 マルチ2次電子ビーム位置取得装置及びマルチ2次電子ビーム位置取得方法 2021年12月27日
特開 2021-197425 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2021年12月27日
特開 2021-183942 パターン検査装置及びパターン検査方法 2021年12月 2日
特開 2021-180224 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2021年11月18日
特開 2021-169972 パターン検査装置及びパターン検査方法 2021年10月28日
特開 2021-167787 パターン検査装置及びパターン検査方法 2021年10月21日
特開 2021-168286 マルチ荷電粒子ビーム照射装置及びマルチ荷電粒子ビーム検査装置 2021年10月21日
特開 2021-165660 マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 2021年10月14日
特開 2021-165661 マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 2021年10月14日
特開 2021-162690 検査装置 2021年10月11日
再表 2020-95743 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法及びプログラム 2021年10月 7日
特開 2021-150456 マルチビーム用のブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2021年 9月27日
特開 2021-144360 画像内のホールパターンの探索方法、パターン検査方法、及びパターン検査装置 2021年 9月24日
特開 2021-131946 マルチ荷電粒子ビーム位置合わせ方法及びマルチ荷電粒子ビーム検査装置 2021年 9月 9日

54 件中 1-15 件を表示

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2021-197263 2021-197264 2021-197425 2021-183942 2021-180224 2021-169972 2021-167787 2021-168286 2021-165660 2021-165661 2021-162690 2020-95743 2021-150456 2021-144360 2021-131946

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