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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第595位 53件 (2020年:第433位 79件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第483位 50件 (2020年:第402位 64件)
(ランキング更新日:2024年11月15日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2021-197263 | マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 | 2021年12月27日 | |
特開 2021-197264 | マルチ2次電子ビーム位置取得装置及びマルチ2次電子ビーム位置取得方法 | 2021年12月27日 | |
特開 2021-197425 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2021年12月27日 | |
特開 2021-183942 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2021年12月 2日 | |
特開 2021-180224 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2021年11月18日 | |
特開 2021-169972 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2021年10月28日 | |
特開 2021-167787 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2021年10月21日 | |
特開 2021-168286 | マルチ荷電粒子ビーム照射装置及びマルチ荷電粒子ビーム検査装置 | 2021年10月21日 | |
特開 2021-165660 | マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 | 2021年10月14日 | |
特開 2021-165661 | マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム検査方法 | 2021年10月14日 | |
特開 2021-162690 | 検査装置 | 2021年10月11日 | |
再表 2020-95743 | 荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法及びプログラム | 2021年10月 7日 | |
特開 2021-150456 | マルチビーム用のブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2021年 9月27日 | |
特開 2021-144360 | 画像内のホールパターンの探索方法、パターン検査方法、及びパターン検査装置 | 2021年 9月24日 | |
特開 2021-131946 | マルチ荷電粒子ビーム位置合わせ方法及びマルチ荷電粒子ビーム検査装置 | 2021年 9月 9日 |
54 件中 1-15 件を表示
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2021-197263 2021-197264 2021-197425 2021-183942 2021-180224 2021-169972 2021-167787 2021-168286 2021-165660 2021-165661 2021-162690 2020-95743 2021-150456 2021-144360 2021-131946
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11月26日(火) -
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11月27日(水) -
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