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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2014年 出願公開件数ランキング    第473位 74件 下降2013年:第410位 100件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第336位 115件 上昇2013年:第439位 82件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-239178 マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2014年12月18日
特開 2014-239094 マスク基板の温調装置、マスク基板の温調方法 2014年12月18日
特開 2014-232071 パターン検査方法及びパターン検査装置 2014年12月11日
特開 2014-228670 焦点位置調整方法および検査方法 2014年12月 8日
特開 2014-228375 検査感度評価方法 2014年12月 8日
特開 2014-216407 マスクカバー用アース機構、マスクカバー、荷電粒子ビーム描画装置、および荷電粒子ビーム描画方法 2014年11月17日
特開 2014-216528 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2014年11月17日
特開 2014-216593 荷電粒子ビーム描画装置、フォーマット検査装置及びフォーマット検査方法 2014年11月17日
特開 2014-215218 検査装置 2014年11月17日
特開 2014-211417 パターン検査装置及びパターン検査方法 2014年11月13日
特開 2014-209075 検査装置および検査方法 2014年11月 6日
特開 2014-209599 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームの照射量変調係数の取得方法 2014年11月 6日
特開 2014-206446 パターン検査方法 2014年10月30日
特開 2014-206466 検査方法および検査装置 2014年10月30日
特開 2014-202482 検査方法および検査装置 2014年10月27日

74 件中 1-15 件を表示

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2014-239178 2014-239094 2014-232071 2014-228670 2014-228375 2014-216407 2014-216528 2014-216593 2014-215218 2014-211417 2014-209075 2014-209599 2014-206446 2014-206466 2014-202482

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