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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第475位 70件 下降2014年:第473位 74件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第385位 67件 下降2014年:第336位 115件)

(ランキング更新日:2021年9月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2015-232549 検査方法、テンプレート基板およびフォーカスオフセット方法 2015年12月24日
特開 2015-232952 カソードの取得方法および電子ビーム描画装置 2015年12月24日
特開 2015-230273 マスク検査装置及びマスク検査方法 2015年12月21日
特開 2015-230298 検査方法 2015年12月21日
特開 2015-231020 露光システム及び露光方法 2015年12月21日
特開 2015-228471 マルチ荷電粒子ビーム描画方法及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 2015年12月17日
特開 2015-215269 パターン位置測定方法 2015年12月 3日
特開 2015-216269 気相成長方法及び気相成長装置 2015年12月 3日
特開 2015-216278 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビームのドーズ量異常検出方法 2015年12月 3日
特開 2015-216311 半導体基板、半導体基板の製造方法および半導体装置 2015年12月 3日
特開 2015-216321 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 2015年12月 3日
特開 2015-211119 荷電粒子ビーム描画装置 2015年11月24日
特開 2015-204404 マルチビーム描画方法およびマルチビーム描画装置 2015年11月16日
特開 2015-204434 サセプタ処理方法及びサセプタ処理用プレート 2015年11月16日
特開 2015-204449 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 2015年11月16日

71 件中 1-15 件を表示

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2015-232549 2015-232952 2015-230273 2015-230298 2015-231020 2015-228471 2015-215269 2015-216269 2015-216278 2015-216311 2015-216321 2015-211119 2015-204404 2015-204434 2015-204449

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