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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第354位 106件 (2015年:第475位 70件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第493位 56件 (2015年:第385位 67件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2016-225357 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年12月28日 | |
特開 2016-225358 | カソード選別方法及び電子ビーム描画装置 | 2016年12月28日 | |
特開 2016-219568 | 気相成長装置および気相成長方法 | 2016年12月22日 | |
特開 2016-219577 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年12月22日 | |
特開 2016-219829 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年12月22日 | |
特開 2016-213392 | 荷電粒子ビーム描画装置、及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年12月15日 | |
特開 2016-206169 | 検査方法およびテンプレート | 2016年12月 8日 | |
特開 2016-207779 | ビームドリフト量の測定方法 | 2016年12月 8日 | |
特開 2016-207780 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年12月 8日 | |
特開 2016-207815 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年12月 8日 | |
特開 2016-207826 | 荷電粒子ビーム描画装置の描画エラー検出方法及びエラー検出用パターンの描画方法 | 2016年12月 8日 | |
特開 2016-207971 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年12月 8日 | |
特開 2016-199436 | 気相成長方法 | 2016年12月 1日 | |
特開 2016-201472 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2016年12月 1日 | |
特開 2016-201481 | 気相成長方法 | 2016年12月 1日 |
107 件中 1-15 件を表示
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2016-225357 2016-225358 2016-219568 2016-219577 2016-219829 2016-213392 2016-206169 2016-207779 2016-207780 2016-207815 2016-207826 2016-207971 2016-199436 2016-201472 2016-201481
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