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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2012年 出願公開件数ランキング    第343位 120件 上昇2011年:第376位 103件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第464位 75件 上昇2011年:第886位 31件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5107685 気相成長装置及び気相成長方法 2012年12月26日
特許 5107619 描画データの作成装置及び描画データの作成方法 2012年12月26日
特許 5095364 トラッキング制御方法および電子ビーム描画システム 2012年12月12日
特許 5087238 半導体製造装置の保守方法及び半導体製造方法 2012年12月 5日
特許 5087679 電子ビーム装置 2012年12月 5日
特許 5087318 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年12月 5日
特許 5087258 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置、位置ずれ量計測方法及び位置計測装置 2012年12月 5日
特許 5078151 欠陥検出レベル調整方法および欠陥検査システム 2012年11月21日
特許 5079726 半導体製造方法および半導体製造装置 2012年11月21日
特許 5079410 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年11月21日
特許 5079408 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年11月21日
特許 5068549 描画データの作成方法及びレイアウトデータファイルの作成方法 2012年11月 7日
特許 5068515 描画データの作成方法、描画データの変換方法及び荷電粒子線描画方法 2012年11月 7日
特許 5063071 パタン作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2012年10月31日
特許 5063035 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2012年10月31日

75 件中 1-15 件を表示

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5107685 5107619 5095364 5087238 5087679 5087318 5087258 5078151 5079726 5079410 5079408 5068549 5068515 5063071 5063035

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