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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第572位 53件
(2021年:第595位 53件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第398位 74件
(2021年:第483位 50件)
(ランキング更新日:2025年6月5日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-190668 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年12月26日 | |
特開 2022-186993 | 描画データ生成プログラム、マルチ荷電粒子ビーム描画プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2022年12月15日 | |
特開 2022-185237 | 測定装置及び測定方法 | 2022年12月14日 | |
特開 2022-185486 | ブランキングアパーチャアレイユニット | 2022年12月14日 | |
特開 2022-182497 | 参照画像生成方法及びパターン検査装置 | 2022年12月 8日 | |
特開 2022-177801 | 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム | 2022年12月 1日 | |
特開 2022-176086 | 検査システム、画像生成方法、及び検査方法 | 2022年11月25日 | |
特開 2022-174714 | マルチ2次電子ビームの位置合わせ方法、マルチ2次電子ビームの位置合わせ装置、及び電子ビーム検査装置 | 2022年11月24日 | |
特開 2022-163680 | マルチ電子ビーム画像取得方法、マルチ電子ビーム画像取得装置、及びマルチ電子ビーム検査装置 | 2022年10月26日 | |
特開 2022-162802 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年10月25日 | |
特開 2022-159786 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年10月18日 | |
特開 2022-153968 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年10月13日 | |
特開 2022-154067 | 電子ビームの軌道軸調整方法及びマルチビーム画像取得装置 | 2022年10月13日 | |
特開 2022-154068 | 荷電粒子ビーム画像取得装置及び荷電粒子ビーム画像取得方法 | 2022年10月13日 | |
特開 2022-146501 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 | 2022年10月 5日 |
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2022-190668 2022-186993 2022-185237 2022-185486 2022-182497 2022-177801 2022-176086 2022-174714 2022-163680 2022-162802 2022-159786 2022-153968 2022-154067 2022-154068 2022-146501
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