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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2017年 出願公開件数ランキング    第450位 88件 下降2016年:第354位 106件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第453位 58件 上昇2016年:第493位 56件)

(ランキング更新日:2021年9月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-228650 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2017年12月28日
特開 2017-228702 伝熱板および描画装置 2017年12月28日
特開 2017-219355 検査方法 2017年12月14日
特開 2017-220491 マルチ荷電粒子ビーム露光方法及びマルチ荷電粒子ビーム露光装置 2017年12月14日
特開 2017-220497 検査方法 2017年12月14日
特開 2017-220615 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 2017年12月14日
特開 2017-216338 マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置 2017年12月 7日
特開 2017-216392 パターン検査装置及びパターン検査方法 2017年12月 7日
特開 2017-211392 パターン評価方法およびパターン評価装置 2017年11月30日
特開 2017-198587 パターン検査装置 2017年11月 2日
特開 2017-198588 パターン検査装置 2017年11月 2日
特開 2017-198589 パターン検査方法及びパターン検査装置 2017年11月 2日
特開 2017-198607 パターン欠陥検査方法およびパターン欠陥検査装置 2017年11月 2日
特開 2017-199610 ステージ機構 2017年11月 2日
特開 2017-199758 マルチ荷電粒子ビーム照射装置、マルチ荷電粒子ビームの照射方法及びマルチ荷電粒子ビームの調整方法 2017年11月 2日

88 件中 1-15 件を表示

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2017-228650 2017-228702 2017-219355 2017-220491 2017-220497 2017-220615 2017-216338 2017-216392 2017-211392 2017-198587 2017-198588 2017-198589 2017-198607 2017-199610 2017-199758

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